对于要求更高要求的工业显微镜成像应用和需要激光进行微加工,修整或修复的工艺,WDI已经设计了一条线自动光学检测和激光微加工显微镜(MIC)。像模块化显微镜系统一样,MIC线路可以轻松地与WDIs技术集成,创建一个完全自主的系统,包括聚焦,照明和镜头驱动。
产品特点:
材料和设计适合于在图像质量,系统稳定性,可靠性和速度方面满足LCD,LED,OLED和半导体行业现代高速制造的需求。
具有静态和高速扫描应用的能力。
配置激光端口和内部光学器件的能力允许2,3或4激光波长,对目标的激光功率损失最小。
技术参数/规格:
仪表类型与技术
构成因素 监视器或仪器
安装/装载 楼层(可选功能)
技术 光学/成像
应用与测量
应用 CVD / PVD; 电镀; 封装IC或基板; 光刻; 光伏电池,激光微加工,光掩模
测量 缺陷,凹痕或膜残留物; 薄膜和TFT阵列维修
接口和功能
特征 非接触式。
产品型号:MIC4。
LEGRIS 接头 3601 1417
LEGRIS 接头 3601 1221
LEGRIS 接头 3601 1217
WOMA 高压软管 360.1304 ;DN4-6M-750BAR
LECHLER Spray ball 360 Degrees Y1-1 DN15
SICKMAIHAK O型圈 36.5*3.55 (7074624)
KUHNKE 气缸 36.290.025
A.U.K.MULLER 电磁阀 36.010.126
USAG 公制两用扳手(一端开口、一端梅花) 36*36
USAG 公制梅花敲击扳手 36*208
TAIYO 油缸 35S16SD25N30
APEX 35PTHD65Q
SAYAMA 直流电机 35GM-5S00