COSENSE液位传感器
ML-101系列超声波微量级传感器
Cosense ML-101系列“通空气超声波”，非接触式微型传感器直径小至7.8mm。它们为测量精度为±0.0002in（±0.005mm）的高纯度液体/气体输送系统或晶圆蚀刻工艺提供精密液位测量，验证和检验解决方案。ML-101系列级应用包括晶圆对准，晶圆平面度，晶圆轮廓，计数和位置安全。ML-101系列精密液位测量系统可从单通道到多通道多达24个通道（12个标准），用于扫描或多点机器人应用。
SonIC EYE™非入侵液位传感器系列
非侵入性Sonic Eye™传感器通过金属，玻璃，塑料管或各种尺寸的容器（从（6.35mm）到12in（305mm））和形状来监测一个或多个点处的液位。独家专利的可重复使用或一次性传感器设计简单地安装在容器的外壁上，而不会中断该过程，并且还消除了流体污染问题。
非侵入式传感器设计有一个基于微处理器的集成电子电路。定制设计传感器可用于3.3V，1mA电流消耗的电池运行。
携带高纯度化学液体的罐头/液体瓶中的液位传感器
用于半导体流体处理设备的前体以高完整性，不锈钢容器提供，以获得纯度和安全性。为了使系统独立于使用计算，Cosense推出了SL-700 / SL-900系列超声波液位传感器，实时将液位监测到超纯化学液体的±0.5mm以内。
其微型传感器设计，没有移动部件，消除了具有减少的液体体积位移的颗粒产生。化学流体包括但不限于CVD，ALD，DMAH，TAEO，TDEAT，TEOS，DCE，TCA和BHD-111。传感器输出可用于晶圆清洗和蚀刻操作中化学流体的自动再填充功能。电子模块提供各种输入和输出选项，包括RS-232接口。
超声波无烟空气泡沫探测器
Cosense AD-101系列超声波非侵入式气泡和颗粒检测器具有广泛的应用范围，用于检测晶圆蚀刻工艺以及冷却液管路中流体线中的气泡和颗粒。
未检测到的空气或不存在流体可能导致晶片制造过程中的主要问题。AD-101超声波传感器简单地夹在管壁外部，消除液体污染问题。标准传感器可以在1mm至12mm的管道中检测尺寸小至500微米的气泡。所有标准的柔性和刚性管道，包括Teflon®可以容纳。
集成电路提供各种输出选项，包括RS-232。用于OEM客户的定制传感器可以设计用于测量尺寸为100微米的气泡。
产品型号：AD-101系列、ML-101系列、SonIC EYE™、SL-900系列。
GARDNER DENVER 风机 G200 2BH1600-7AH26
NASH 风车 G-200 2BH1500-7AH06
GARDNER DENVER 电机 G-200 2BH1303-7AH06-Z
GARDNER DENVER 风机 G200 2BH1600-7AT71 NO.BN 10009101 001/1206
ACECO . G17-018 and G17-023 用于aceco part C16-217 and aceco part C 16-017
B+S O型圈 G145
HOMA 接触器 G1400 NR:115715
KEB 电机 G12ADM71G4B02（0.37KW）带波箱
KSB 泵 G125-250 SP
MOOG 伺服阀放大板 G123-815A001 S/N:M2665
BAUER 减速机 G12-20/DK74-178-AS/M FOCKE NR:2370443
LUDECKE 接头 G12 ESHG 12 NAAB
LUDECKE 接头 G12 ESHG 12 AAB
CANTONI 电机 G1130B3260MG0021 NO:C122148
WANNER 高压泵 G10XKCGSNECA
FUJI 叶片 G-108208-00
B+S O型圈 G105
GO Regulator 1/4" FNPT 20 Micron Inlet Filter Kit G103596
