Entegris过滤器
当涉及空气，散装气体或规格气体的过滤和净化时，Entegris拥有专业知识，技术和解决方案，以满足您的需求。无论是使用点还是散装气体输送，在室内还是在晶片上，在洁净室或工具上，Entegris都有提供高性能气体和空气净化和过滤产品以满足您的需求的悠久历史。
Entegris超纯气体过滤产品为超纯气体应用提供0.003微米颗粒过滤。Wafergard®气体过滤器可实现更高的工艺气体通量，同时减少整个气体盒的占地面积。
用于超高纯度（UHP），高流量气体管线的Wafergard®II SF 3XP迷你在线气体过滤器均为316L不锈钢收缩管，设计流量比同类过滤器高三倍，高于三位数。设计用于高达500 SLPM的中等流速，推荐过滤UHP高流量应用，如扩散，退火，外延工具和连接。
产品参数：
长度
84 mm（3.31“） 94 mm（3.70“） 126.9 mm（5.00“） 133.5 mm（5.26“）
最大流量
200 slpm
处理
散装气体输送 光刻 沉积 干蚀刻 离子植入
行业
半导体 平板显示器 数据存储 LED。
产品型号：Wafergard®II SF 3XP、Wafergard®II SF Half、Wafergard®SF、Wafergard®II SF 3XP Mini XL、Wafergard®SF Micro XL、Unigard™、Gasketgard®。
ADDI-DATA 数据采集卡 APCI1516
ADDI-DATA 数据采集卡 APCI1500
CENTERLINE 蝶阀 APBD5B7UDF DN:150 PN:16 PS:3.5 Mat.EN-GJS-400-15 Dat.05.10/297 revo Art-Nr:RD505000700000
INOR 温度变送器 APAQ-HRF 4-20MA
INOR ... APAQ-HR
MAWOMATIC 压力开关 APA1.AA10
MAWOMATIC 气压开关 APA1.AA07CPZ15
KFG 水位開關 APA/V/R-2-V/S-L250/12-1/SV52/15/A L1=200MM,零件號:VAL0336721
BUCHER 双联泵 AP50/0.9
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GEFA 气动蝶阀 AP4.5DA 10Bar DN200
GEFA 气动蝶阀 AP3.5DA 10Bar DN125
VAPO 球阀 AP2S,N°springsEACHCAP:5,BatchNumber:03-06,Pumber:03-06,Pmax:10bar,DN15PN40,限位开关:VTB850IP6503-B850IP6503-06，介质N2氩气
