APTECH阀AK1510S （ 31C 44000）
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单级
·SS次级变量
重熔或超合金
建设
•清洁、组装和
高纯度包装
半导体的应用
•表面光洁度
15 RA最大值/ 10 RA平均值
（10, 7和5 RA最大选项）
•真空3500 psig
（241巴）进气道
人力资源部选择4500 psig
（310巴）
•流量标准为
30 SLPM（1立方英尺）
高频选项120 SLPM（4立方英尺）
•旋钮LOTO
（参阅美联社KL数据表）
•安装和操作
说明可在
www.aptech-online.com
在技术简介部分
操作参数
源真空压力为3500 psig（241条）
人力资源选择真空4500 psig（310条）
输送压力AP 1502 1至30 psig（0.07至2条）
AP 1506 2至60 psig（0.14至4条）
AP 1510 2至100 psig（0.14至7条）
工作压力验证压力150%
工作压力爆破压力300%
其他参数
进/出口连接器1/4或3/8英寸面密封或管焊接
阀盖端口1/8英寸不扩散核武器条约
流量系数（CV）0.09（0.15 HF选项）
内部容积0.51立方英寸（8.4厘米）
工作温度- 40°至160°F（- 40°至71°C）*
表面光洁度15µRA最大/ 10µ在。RA的平均。
（0.4/0.25µ米）标准；10µ在（0.25µm）；
7µ在（0.18µM）；和5µ在（0.13µm）RA最大可选
Inboard leakage 2 x 10-10 sccs
外漏2×10-9，他
漏过座4×10-8 SCCS他
安装面或面板（可选）
供应压力的影响，每100到0.25 psig的气源压力变化
HF 0.75 psig每100 psig
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NORGREN 电磁阀 X422550W 024
NYAD 露点分析表(带测量探头2支) MODEL 120 GRK-537L SERIALNO.:13206
OBERDORFER 齿轮泵轴承 5024
OBERDORFER 齿轮泵密封 32585
ODU 联接器 656.611.007.006.001
ODU 插座模块 611 126 104 923 000
ODU 插针 180 363 000 307 000
OFT 火焰探测器 UV-4000HII
