APTECH阀AK1510S(31C 44000)
单级
·SS次级变量
重熔或超合金
建设
•清洁、组装和
高纯度包装
半导体的应用
•表面光洁度
15 RA最大值/ 10 RA平均值
(10, 7和5 RA最大选项)
•真空3500 psig
(241巴)进气道
人力资源部选择4500 psig
(310巴)
•流量标准为
30 SLPM(1立方英尺)
高频选项120 SLPM(4立方英尺)
•旋钮LOTO
(参阅美联社KL数据表)
•安装和操作
说明可在
在技术简介部分
APTECH阀操作参数
源真空压力为3500 psig(241条)
人力资源选择真空4500 psig(310条)
输送压力AP 1502 1至30 psig(0.07至2条)
AP 1506 2至60 psig(0.14至4条)
AP 1510 2至100 psig(0.14至7条)
工作压力验证压力150%
工作压力爆破压力300%
APTECH阀其他参数
进/出口连接器1/4或3/8英寸面密封或管焊接
阀盖端口1/8英寸s
流量系数(CV)0.09(0.15 HF选项)
内部容积0.51立方英寸(8.4厘米)
工作温度- 40°至160°F(- 40°至71°C)*
表面光洁度15µRA最大/ 10µ在。RA的平均。
(0.4/0.25µ米)标准;10µ在(0.25µm);
7µ在(0.18µM);和5µ在(0.13µm)RA最大可选
Inboard leakage 2 x 10-10 sccs
外漏2×10-9,他
漏过座4×10-8 SCCS他
安装面或面板(可选)
供应压力的影响,每100到0.25 psig的气源压力变化
HF 0.75 psig每100 psig
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